產品特點
1. 光機電一體化設計，外形結構簡單；
2. 掃描探頭和樣品臺集成一體，抗干擾能力強；
3. 精密激光檢測及探針定位裝置，光斑調節簡單，操作方便；
4. 采用樣品趨近探針方式，使針尖垂直于樣品掃描；
5. 伺服馬達手動或自動脈沖控制，驅動樣品垂直接近探針，實現掃描區域精確定位；
6. 高精度大范圍的樣品移動裝置，可自由移動感興趣的樣品掃描區域；
7. 高精度大范圍的壓電陶瓷掃描器，根據不同精度和掃描范圍要求選擇；
8. 采用伺服馬達控制CCD對焦和光學放大；
9. 模塊化的電子控制系統設計，便于電路的持續改進與維護；
10. 集成多種掃描工作模式控制電路，配合軟件系統使用。
軟件特點
1. 可觀測樣品掃描時的表面形貌像、振幅像和相位像
2. 具備接觸、輕敲、相位、摩擦力、磁力或靜電力工作模式
3. 多通道圖像同步采集顯示，實時查看剖面圖
4. 多種曲線力-間距（F-Z）、頻率-RMS（f-RMS)、RMS-間隙（RMS-Z)測量功能
5. 可進行掃描區域偏移、剪切功能，任意選擇感興趣的樣品區域
6. 激光光斑檢測系統的實時調整功能
7. 針尖共振峰自動和手動搜索功能
8. 可任意定義掃描圖像的色板功能
9. 支持樣品傾斜線平均、偏置實時校正功能
10. 支持掃描器靈敏度校正和電子學控制器自動校正
11. 支持樣品圖片離線分析與處理功能
1. 可觀測樣品掃描時的表面形貌像、振幅像和相位像
2. 具備接觸、輕敲、相位、摩擦力、磁力或靜電力工作模式
3. 多通道圖像同步采集顯示，實時查看剖面圖
4. 多種曲線力-間距（F-Z）、頻率-RMS（f-RMS)、RMS-間隙（RMS-Z)測量功能
5. 可進行掃描區域偏移、剪切功能，任意選擇感興趣的樣品區域
6. 激光光斑檢測系統的實時調整功能
7. 針尖共振峰自動和手動搜索功能
8. 可任意定義掃描圖像的色板功能
9. 支持樣品傾斜線平均、偏置實時校正功能
10. 支持掃描器靈敏度校正和電子學控制器自動校正
11. 支持樣品圖片離線分析與處理功能
技術規格
| 名 稱 | 參 數 | 名 稱 | 參 數 |
| 工作模式 | 接觸、輕敲、相位、摩擦力、磁力或靜電力 | 掃描角度 | 任意 |
| 樣品尺寸 | Φ≤90mm，H≤20mm | 樣品移動范圍 | 0～20mm |
| 最大掃描范圍 | 橫向50um，縱向5um | 光學放大倍數 | 10X |
| 掃描分辨率 | 橫向0.2nm，縱向0.05nm | 光學分辨率 | 1um |
| 掃描速率 | 0.6Hz~4.34Hz | 圖像采樣點 | 256×256，512×512 |
| 掃描控制 | XY采用18-bit D/A Z采用16-bit D/A | 反饋方式 | DSP數字反饋 |
| 數據采樣 | 14-bit A/D、雙16-bit A/D 多路同步采樣 | 反饋采樣速率 | 64.0KHz |
| 儀器重量體積 | 40KG，700′480′450mm | 計算機接口 | USB2.0 |
| 運行環境 | 運行于WindowsXP/7/8操作系統 | ||